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是一種基于硅壓阻效應的MEMS壓力傳感器。壓力芯片采用硅微加工工藝制作而成,待測壓力作用于硅膜片背面,硅膜片正面與玻璃基
壓力傳感器是一種基于硅壓阻效應,采用MEMS技術實現的壓力傳感器。待測壓力從芯片背面加載在硅膜片上,從而使得傳感器可在惡
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