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應(yīng)用領(lǐng)域
測試燃?xì)鉁囟�、壓�?/span>
是一種基于硅壓阻效應(yīng)的MEMS壓力傳感器。壓力芯片采用硅微加工工藝制作而成，待測壓力作用于硅膜片背面，硅膜片正面與玻璃基體間為參考真空；壓力芯片和鍵合引線采用硅膠保護。在可承受的壓力范圍內(nèi)，壓力傳感器輸出與壓力成線性比例的電壓信號；在寬溫度范圍內(nèi)（-40至+125℃）傳感器電路提供精確穩(wěn)定的信號輸出和溫度補償，為燃?xì)獗磔敵鼍珳?zhǔn)的壓力值和溫度值。
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產(chǎn)品性能參數(shù)
| 壓力范圍： | 50-600KPaA |
| 輸出范圍： | 0.5-2V |
| 供電電壓： | 5.0±0.25V |
| 工作溫度： | -40℃-125℃ |
| 精確度 ： | 全溫區(qū)±3% |
外形結(jié)構(gòu)
電氣連接
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